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LSCF系列3D线性光谱共焦传感器-LSCF1000
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LSCF系列3D线性光谱共焦传感器-LSCF1000
产品介绍
玻璃盖板缺陷检测、车载屏屏幕表面缺陷、晶圆缺陷检测。
产品描述
规格参数
线长:8.8mm;
可测量角度范围:±20°;
Z方向重复性:±0.25μm
景深范围:3mm
满景深测量速度:5000线/秒
产品优势
速度快、精度高,分层能力强。
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